Интернет |
Развитию полупроводниковых техпроцессов послужат углеродные нанотрубки
26
Дальнейшее снижение масштабов полупроводниковых техпроцессов немыслимо без использования сканеров диапазона EUV. Эти сканеры будут как наращивать мощность для увеличения скорости обработки кремниевых пластин, так и повышать оптическое разрешение. Но с этим связан целый ворох технических проблем, решить которые обещают учёные из исследовательского бельгийского центра Imec. Плёнка из углеродных нанотрубок для защиты фотошаблонов от загрязнения и выгорания при EUV-проекции (Imec)